超高纯过滤器

专为高纯管路系统而设计

高纯度过滤器是一种专门设计用于去除流体中微小杂质的过滤装置,适用于对洁净度要求非常高的场合,通常应用于半导体制造等高纯度环境。高纯度过滤器选材和制造都非常严格,符合高洁净度环境要求,而且产品能够在高流速下运行,确保流体的纯度和质量。

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  • 超高纯过滤器,FP 系列

    FP 系列超高纯过滤器,过滤精度 0.003 µm。过滤器采用 PTFE 过滤元件,具备优秀的化学兼容性,适用于各种半导体工艺中的气体过滤,如:CVD、PVD、干法刻蚀等。

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