模块化气体系统

半导体气体控制的小型化集成系统

FITOK 模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种用于半导体行业气体控制的集成系统,集成了阀门、接头等管道元件以及其它必要的测量与控制仪器。模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件,进行模块化设计,在缩小设备体积的同时,安装和维护反而变得更简单。

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