超高纯过滤器,FP 系列

适用于高纯管路系统

FP 系列超高纯过滤器,过滤精度 0.003 µm。过滤器采用 PTFE 过滤元件,具备优秀的化学兼容性,适用于各种半导体工艺中的气体过滤,如:CVD、PVD、干法刻蚀等。

特征

优秀的化学兼容性
100% 氦气泄漏检测
在最大流速下对 0.003 µm 及以上颗粒的过滤效率超过 99.9999999%

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