隔膜阀

适用于高纯和超高纯应用

飞托克隔膜阀涵盖低压和高压,低流量和高流量,手动和气动,有弹簧型和无弹簧型,高温型和原子沉积型等多方面,钴合金隔膜强度高、耐腐蚀,适合对介质纯净度有很高要求的高纯和超高纯应用。

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  • 原子层沉积隔膜阀,ALD 系列

    原子层沉积 (Atomic Layer Deposition) 是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。随着芯片节点尺寸的不断缩小,传统沉积技术已达到其极限,在纳米级上沉积超薄层需要原子层沉积 (ALD) 技术,该技术可使材料一次沉积一个原子层。FITOK ALD 系列原子层沉积隔膜阀可应用于原子层沉积工艺,在半导体芯片制造的沉积工艺中输送精确剂量的气体,以实现先进技术所需的均匀气体沉积。

  • 低压手动隔膜阀,DQ 系列

    DQ 系列低压手动隔膜阀内部容积小,无死区,颗粒产生少,便于清扫流道。全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力。钴合金材料的隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。金属硬密封结构,对外部零泄漏。手柄带有可视窗,便于识别开、关位置。多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。与介质接触表面电解抛光,浸润面粗糙度为 5 μin. (0.13 μm),适用高纯及超高纯应用。

  • 低压气动隔膜阀,DP 系列

    DP 系列低压气动隔膜阀内部容积小,无死区,内部无润湿螺纹和弹簧,可最大程度减少颗粒生成和残留,提升洁净度,便于清扫流道。全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力。钴合金材料的隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。金属硬密封结构,对外部零泄漏。多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。与介质接触表面电解抛光,浸润面粗糙度为 5 μin (0.13 μm),适用高纯及超高纯应用。

  • 两段式气动隔膜阀,DPT 系列

    DPT 系列两段式气动隔膜阀定位高纯和超高纯应用,可在低流量和高流量间快速切换,实现设备的“软启动”。内部无润湿螺纹和弹簧,可最大程度减少颗粒生成和残留,提升洁净度,极少产生颗粒和死区,钴合金隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。多种阀体材质及端口类型可选。

  • 高压无弹簧隔膜阀,DH 系列

    DH 系列高压无弹簧隔膜阀采用多层钴合金材料及铍铜材料组合隔膜,强度高、耐腐蚀,使用寿命长。圆弧形阀座,更易密封,最大工作压力 3,000 pisg (206 bar)。有手动和气动执行器可供选择,气动可提供位置传感器,多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 高压弹簧隔膜阀,DM 系列

    DM 系列高压弹簧隔膜阀采用全金属壳体,无填料。阀座体积小,带有全包围的软座阀杆尖,可重复关闭,使用寿命好。采用钴合金隔膜,强度高、耐腐蚀、使用寿命长。最大工作压力3,500 pisg (241 bar), 有手动和气动执行器可供选择,手动条形手柄带位置指示环,可指示开启和关闭状态,气动可提供位置传感器,多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 高压紧凑型隔膜阀,DS 系列

    DS 系列高压紧凑型隔膜阀,结构紧凑,内部容积小,无死区,颗粒少;采用钴合金隔膜,强度高、耐腐蚀、使用寿命长;极少的零部件,易于维护;无填料,适用于高纯度气体应用;较小的操作扭矩,可轻松开关。最大工作压力 310 bar (4500 psig),提供手动和气动两种驱动方式。多种端口类型、尺寸及阀座材质可选,可提供二阀三通形式。

  • 低压中流量隔膜阀,DR 系列

    DR 系列低压中流量隔膜阀采用全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力。内部无死区,易吹扫。钴合金材料的隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。工作压力从真空至 145 psig,流量系数 0.7,适用于中等流量应用。有手动和气动执行器可供选择,手动手柄带可视窗,多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 低压高流量隔膜阀,DV 系列

    DV 系列低压高流量隔膜阀采用金属硬密封结构,无泄漏。润湿区域无弹簧或螺纹,更加清洁。加固的隔膜设计,阀杆易于回缩。工作压力从真空至 300 pisg,流量系数高达 2.8,适用于高流量系统,操作扭矩小,阀杆位置可显示阀门开关状态,有手动和气动两种驱动方式,多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 低压超高流量隔膜阀,DL 系列

    DL 系列低压超高流量隔膜阀采用钴合金材料的隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。内部无润湿螺纹和弹簧,减少颗粒生成和残留,提升洁净度。最大工作压力为 20.6 bar (300 psig),最大流量系数可达 13,适用于超高流量的应用。有手动和气动执行器可供选择,手动从全开至关闭需要五圈半,且扭矩小。多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 高压高流量隔膜阀,DF 系列

    DF 系列高压高流量隔膜阀, 弹簧型隔膜阀,流量系数大,适合高压高流量应用;钴合金材料的隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。最大工作压力达 3,500 pisg (241 bar),有手动和气动执行器可供选择,气动可提供位置传感器,多种端口类型、尺寸及阀座材质可选。

  • 经济型隔膜阀,DE 系列

    DE 系列经济型隔膜阀采用钴合金隔膜,强度高、耐腐蚀、使用寿命长,与介质接触区无弹簧或螺纹,提高了清洁度,极少产生颗粒和死区,浸润面粗糙度 Ra 0.13 μm (5 μin.),金属面密封端口,适用于超高纯气体流体系统。工作压力从真空至 10 bar (150 psig),工作温度范围为 -23 ~ 80 °C (-10 ~ 176 °F),有手动和气动两种形式可选。

  • 高温隔膜阀,DK 系列

    DK 系列高温隔膜阀采用高温浸没设计,可用于 250 °C (482 °F) 高温环境。金属阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力,浸润部位为全金属材质,具有广泛的化学兼容性。钴合金隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长。极少产生颗粒和死区,易吹扫。多种端口类型、尺寸可选。

  • 表面安装隔膜阀,DIM 系列

    DIM 系列表面安装隔膜阀采用符合 SEMI 标准的表面安装方式,阀门和基块之间采用 W 或 C 形金属硬密封,可安装于模块化气体系统中。最大工作压力 10 bar (145 psig),钴合金隔膜提高强度和耐腐蚀性,无填料隔膜密封确保高纯,流道无死区结构设计,易吹扫,润湿部位经过 EP 处理,表面粗糙度不超过 Ra 0.13 μm (5 μin.)

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