气体控制系统

实现对气路的切换和控制

CEPR、DPPR、FDR、FPR 和 FSR 系列是高性能气体控制与切换系统的代表,适用于多种工业和实验室环境。CEPR 和 DPPR 系列实现气路的自动切换,维持气体供应的连续性。FDR 系列切换系统提供灵活的手动和自动切换选项。FPR 系列控制点面板和 FSR 系列压力控制面板则负责精确调节气体压力,确保安全稳定的气体供给。AGH 和 AGL 系列分别为高纯和常规气体控制组件,AGH 系列适合半导体等高纯度气体应用,AGL 系列则多用于一般工业场合。CSR 系列源瓶组件能适应绝大部分前驱体封装存储。各系列产品采用模块化集成设计,适应不同应用需求。

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  • 常规气体控制组件,AGL 系列

    AGL 系列常规气体控制组件,可实现精确的压力控制和介质关断。该集成设备主要由球阀、减压阀和压力表等配件组成,适用于常规气体流体系统及富氧环境。

  • 高纯气体控制组件,AGH 系列

    AGH 系列专为高纯气体设计,具有优异的密封性和耐腐蚀性。该系列高纯气体控制组件主要由隔膜阀、减压阀和压力表等配件组成,其主要应用于半导体制造、生物医药和实验室等领域。

  • 控制点面板,FPR 系列

    FPR 系列控制点面板集成了高性能的减压阀和隔膜阀,能够对气体进行精确的压力控制。该面板安装方便,适合用于各类工业生产线和实验室中的气体控制点,实现安全可靠的气体供给管理。

  • 压力控制面板,FSR 系列

    FSR 系列压力控制面板用于将高压气体降低至适合使用的工作压力。其设计紧凑,具备安全泄压功能,易于拆除和更换气源。符合飞托克特殊清洁和包装工艺的要求,适用于富氧环境。

  • 切换系统,FDR 系列

    FDR 系列切换系统包括多种型号,能够根据不同的气体流量和压力要求进行手动或自动切换,从而保证持续供气。FDR 系列采用模块化设计,灵活性高,适合工业气体输送中的多路切换应用,确保系统的可靠性和持续运行​。

  • 源瓶组件,CSR 系列

    在原子层沉积 (ALD) 工艺中,选择合适的前驱体对工艺控制、薄膜性能等方面至关重要;同时根据前驱体特性,如挥发性、反应性等,配以合适的源瓶对工艺会有协同效应。CSR 系列源瓶组件通过对选材到成型工艺的高品质把控,因此能适应绝大部分前驱体封装存储,为整段沉积工艺提供绝佳的安全性和洁净度保障。

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