高纯或超高纯气体输送系统的过流量安全检测装置,能迅速感知气体输送系统中介质流量的增加或减少,当流量升高至流量触发值及以上时,由干簧传感器的常闭或常开电触点发出信号。

特征

全焊接结构,确保密封性能
流道无死区
高强度永磁体提高了耐用性
可更换的传感器组件位于流道外部,便于维护

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