飞托克与您相约 SEMICON China 2026

飞托克与您相约 SEMICON China 2026

 

展会信息

 

随着半导体产业迈入“万亿级”发展的新纪元,全球创新的焦点正以前所未有的速度向中国汇聚。作为全球规模最大、最具影响力的半导体行业盛会,SEMICON China 不仅是尖端科技展示的窗口,更是驱动全球产业链协同创新的核心引擎。本届展会将汇聚超1,100家全球领军企业,吸引逾10万人次专业观众,并举办20余场高端技术论坛,深度聚焦2纳米制程、RISC-V 架构、Micro-LED 及碳中和等前沿趋势,全方位驱动产业链协同创新。

展会时间:2026年3月25日-27日

展会地点:上海新国际博览中心

飞托克展台:6663(E6馆)

 

飞托克展品

 

作为半导体行业备受信赖的流体系统解决方案供应商,飞托克致力于为半导体行业提供全方位的产品和服务。产品涵盖接头、阀门和钢管等超高纯管阀件及集成系统,服务范围从系统设计到现场服务,覆盖半导体原材料生产、半导体设备制造、半导体制造工艺以及厂务端管路系统的建设和维护。凭借高性能的超高纯产品,飞托克已与行业知名客户建立了深入合作关系,产品广泛用于半导体芯片制造的核心工艺,如薄膜沉积、刻蚀、离子注入和 CMP 等。

 

针对本次展会,飞托克将携一系列全新升级的高纯及超高纯产品与技术重磅亮相,展品包括:面密封接头、焊接接头、气瓶接头、快速接头、软管组件、隔膜阀、单向阀、高纯球阀、调压阀、波纹管阀、洁净管、气体控制组件和模块化气体系统等,致力于为半导体行业各类严苛应用提供可靠支持。

 

重点展品:

 

真空波纹管阀

真空波纹管阀

 

  • 采用316L成型波纹管,减少颗粒生成和残留
  • 阀体采用高纯气体钨极保护焊(TIG),优化焊接结构,避免流道内死区,确保洁净度
  • 角形和直线型结构可选,可任意方向安装
  • 外形紧凑,具有较小的阀内容积
  • 多种尺寸和形式的端口可供
  • 气动和手动执行器可选
  • 常温洁净环境下的寿命可达1,000,000次

 

原子层沉积隔膜阀 ALD 系列

 

  • 超高的循环寿命
  • 高速驱动,满足原子层沉积(ALD)工艺要求
  • 流道无死区,确保介质洁净度
  • 流量系数一致性和稳定性高,保障前驱体稳定供给
  • 标准型、耐热型及热浸没型可选

原子层沉积隔膜阀ALD系列

 

金属挠性软管HMF 系列

金属挠性软管 HMF 系列

 

  • 波纹管材料:316L 不锈钢
  • 端接材料:316 或 316L 不锈钢
  • 公称挠性软管尺寸:1/4" 至 1/2"
  • 工作压力范围:真空至 9.3 bar (135 psig)
  • 全金属结构设计,适用于对介质渗透有严格限制的场合
  • 可选额外的氦气泄漏测试,泄漏率 ≤ 1×10-9 std·cm3/s
  • 可根据需求定制长度

 

模块化气体系统

 

  • 模块化设计,缩短系统设计时间
  • 表面安装式设计,安装与维护便捷
  • 小型化设计,适用于空间受限场景
  • 流道采用电解抛光工艺,表面粗糙度小于 Ra 5 μin. (0.13 μm)
  • W 形和 C 形密封可选

模块化气体系统

 

诚邀您亲临飞托克 6663 号展台,深入了解我们的高纯流体系统解决方案如何为先进半导体制造提供坚实支持。届时,我们的技术专家将为您现场分享行业应用洞察、探讨新兴工艺挑战,并共同探索如何将飞托克的先进技术融入您的项目蓝图。期待与您在 SEMICON China 2026 相遇,携手共绘全球半导体行业的创新与可持续增长新篇章。

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